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　　穿上防尘服，戴上口罩、手套，通过风淋体系，记者8月6日上午获准进入电科装备旗下的烁科中科信公司离子注入机组装厂房，现场感觉在模块、模组、整机三级制造全新模式下的集成电路装备产业化速率。烁科中科信公司技能总监张丛告诉记者，上半年，中束流离子注入机实现批量贩卖，大束流离子注入机实现多台贩卖并具备产业化条件，预计整年出货量有望实现翻番。

　　什么是离子注入机？烁科中科信快速产业化的暗码又是什么呢？

　　离子注入机是将特定种类离子以指定参数注入至特定质料中的一种装备，执行的是焦点的掺杂工艺。半导体要做成器件，要改变电性能，必须掺入杂质，离子注入机就是执行掺杂工艺的尺度装备。“每一个器件生产历程中，需要举行许多次离子注入，注入到器件差别的位置，注入的次数对于差别器件类型和工艺节点有差异，比方对于28nm逻辑器件，注入次数约为40次。”张丛先容。

　　“作为一种集成电路高端装备，它的生产组装历程自然是极为苛刻的，生产历程中精细、精准是基本要求。”一位正在举行模块性能测试的研发职员告诉记者。现实上，为保障生产历程的尺度化，实现产业化变化，烁科中科信公司制定了全部模块模组尺度作业引导书，建立了要害模块的历程控制卡，规范了装备布线布管及管线查抄，给出了全部模块功效检测的尺度和要领，同一了装配尺度和检验尺度，包管了机台装配的完备性及准确性。

　　研发团队还参照国际主流半导体装备厂家经验，建立模块、模组、整机三级制造模式，开发了主要模块和模组检测平台，搭建了完善的离子注入机工艺测试平台，实现三级制造模式下全程质量控制，整体生产运营效率大幅提升。

　　不仅寻求产物质量，还跑生产业化“加速率”。烁科中科信重新修订了科研生产使命计划管理制度，科学制订每个项目的研产生产计划节点。通过倒排事情计划，专人跟进，实行日晨会、周调理、月总结，建立项目制的配料方案，实时更新物料状态，天天定时更新项目模块模组物料的到货状态，摆设配料小组准时配料到物料缓存区，在节约人力的同时包管生产计划的高效实行，包管了研发设计、物料采购、生产进度和客户交期严酷可控。

　　颠末十余年发展，烁科中科信紧跟市场需求步调，逐步形成了具备集成电路全产业链笼罩能力的产物结构。其中，中束流离子注入机已经在12英寸和8英寸产线量产或demo验证凌驾数十台套，其工艺稳定性得到业内客户高度认可。大束流离子注入机已实现多台贩卖，正在陆续进入客户端。高能离子注入机首批两台装备预计于2021年一季度进入客户端。公司卖力人先容说，为提升相应速率，公司还组建了50人售后服务队伍，漫衍在北京、上海、武汉、无锡、合肥、重庆、长沙和西安等都会，全面临接客户需求，提供高品质高效率的产物服务。

　　集成电路装备是国之重器，张丛说，烁科中科信将继续着力提高要害焦点技能创新能力，在集成电路大产线、三代半导体产线以及质料制备领域集中发力，鼎力大举推进离子注入机产业化进程，同时，瞄准高端，紧跟先进工艺发展，开展适用于更先进工艺节点的离子注入机的研发事情。

（文章来源：北京商报）

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